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洁净度100级 | cleanliness class 100 | 大于等于0.5μm的尘粒数大于350粒/m3(0.35粒/L)到小于等于3500粒/m3(3.5粒/L); | 大于等于5μm的尘粒数为0 |
洁净度1000级 | cleanliness class 1000 | 大于等于0.5μm的尘粒数大于3500粒/m3(3.5粒/L)到小于等于35000粒/m3(35粒/L) | 大于等于5μm的尘粒数小于等于300粒/m3(0.3粒/L) |
洁净度10000级 | cleanliness class 10000 | 大于等于0.5μm的尘粒数大于35000粒/m3(35粒/L)到小于等于350000粒/m3 (350粒/L) | 大于等于5μm 的尘粒数大于300粒/m3(0.3粒/L)到小于等于3000粒/m3 (3粒/L) |
洁净度100000级 | cleanliness class 100000 | 大于等于0.5μm的尘粒数大于350000粒/m3(350粒/L)到小于等于3500000粒/m3 (3500粒/L); | 大于等于5μm的尘粒数大于3000粒/m3(3粒/L)到小于等于30000粒/m3(30粒/L) |
洁净度300000级 | cleanliness class 300000 | 大于等于0.5μm的尘粒数大于3500000粒/m3(3500粒/L)到小于等于10500000粒/m3 (10500粒/L) | 大于 等于5μm的尘粒数大于30000粒/m3(30粒/L)到小于等于90000粒/m3 (90粒/L) |