超净实验室装修设计

        华南师范大学未来科技研究院对石牌校区产业大楼一楼进行改造，建设科研级光学平台，设置一个千级实验室和一个万级实验室。施工方案包括洁净室墙面地面改造、电力系统改造、洁净空调系统安装、气路系统安装、纯水系统安装等。
        项目主要功能：对实验室进行升级，将其洁净系统达到万级与千级的级别；电力系统满足柔性光子芯片核心设备的运行需求。
        项目主要用途：为柔性光子芯片相关设备提供一个高质量的无尘环境，从而使实验的准确性与安全性更高。根据大型贵重设备的使用要求对场地进行升级，放置设备包括脉冲激光沉积系统、等离子体增强型化学气相沉积装置、真空多靶磁控溅射设备、超高真空电子束蒸发设备、真空等离子清洗机、双光子无掩膜飞秒激光光刻系统、飞秒激光微加工系统、聚焦离子/电子双束系统、高精度光刻机、高精密3D打印机、纳米材料沉积柔性印刷电子设备、PDMS微流控芯片加工平台、超快激光器OPO、OPA等。