洁净室的气体管道及其配附件的材质选择须合符相关的设计要求,按要求选配;如说明中未作明确要求,选用时应与其洁净度的洁净级别要求和输用气体的性质相适应。下面对大部份洁净室气体设计的管道材质要求作简单说明
1、管道应使用无缝管道材质;
2、管材内侧表面光滑、耐磨;
3、管材的金属成分材质性质稳定,经焊接后无大变化;
4、耐腐蚀,防腐性能良好;
5、管道材质与所输送的气体性质无化学反应;不会吸附、消解该气体;
6、负压管道不得采用普通的碳钢管。
7、管道外表无裂缝、夹渣、起瘤、重皮、腐锈斑迹、或表面明显的损伤;管道平直、外观线条滑畅。
8、成品管道运输的包装两端管口应有管帽及作相关保护、密封处理;
9、对于氧气输送,阀门须采用专用产品;密封圈采用有色金属、聚四氟乙烯待材质;以经脱脂处理的聚四氟乙烯作填充处理;
10、高纯气路可采用铜质材质管道;不锈钢材质作附件;不锈钢材质的管道,则不宜用铜质材质的附件。